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摘要：在数字经济与智能制造快速发展的时代背景下，集成电路产业已成为推动科技创新、产业升级和国家竞争力提升的重要战略支撑。深圳职业技术大学（以下简称“深职”）立足区域产业优势，聚焦集成电路领域人才培养需...

摘要：随着先进半导体制造工艺持续向3nm及以下节点迈进，晶圆加工过程对温度控制精度、响应速度及空间均匀性的要求呈指数级提升。高精度温控技术已成为影响光刻、刻蚀、薄膜沉积与封装等关键工艺良率与一致性的核...

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